超声扫描显微镜
超声扫描显微镜
产品介绍
超声扫描显微镜利用超声波在介质中传播时，若遇到不同密度或弹性系数的物质界面，产生的不同幅度的反射回波，通过改变换能器的水平位置，在平面上以往复扫描的方式产生一幅反射强度在平面内分布的图像。系统基本组成有：水浸式聚焦换能器、信号收发模块、扫描运动模块、数据采集模块与上位机信号与图像处理系统等。
功能用途
超声检测具有扫描效率高、成像效果好、检测范围广、对人体无害的优点，可用于无损检测样品内部各种缺陷如裂纹、夹层、空洞、异物等。应用领域有复合材料、半导体等样品的高精度检测以及锂电池安全检测等，适用于包括陶瓷、金属、聚晶、塑封IC、MEMS器件、晶圆粘接、倒装芯片、IGBT等的工艺验证、失效分析、产品可靠性测试与质量控制。
特点
- 采用无损方式对工件内部进行检测，声波独特的穿透特性与良好的波束指向性和可控性，相比于光学、射线、涡流等检测手段可以实现更高的效率与成像效果；
- 扫描运动机构采用高速高精度三轴龙门结构直线模组平台，保证扫描图像稳定清晰；
- 便捷的人机交互逻辑与自动化扫描流程，可适用于批量与快速扫描需求；
- 支持A/B/C/T/P/X/Z等多种扫描功能以及正负峰值、相位、TOF等成像方式，成像直观易于理解，对缺陷具有较好解释性；
- 丰富的图像离线处理功能，可对保存的原始扫描信号进行重建，生成A/B/C扫描图像；并可进行三维重建以及切片成像。图像处理模块可进行图像增强、缺陷识别提取操作。
应用案例
半导体封装
半导体封装
金属零部件
陶瓷与复合材料
应用领域
半导体行业
汽车行业
航空航天
高校科研
其他
