超声扫描显微镜利用超声波在介质中传播时,若遇到不同密度或弹性系数的物质界面,产生的不同幅度的反射回波,通过改变换能器的水平位置,在平面上以往复扫描的方式产生一幅反射强度在平面内分布的图像。系统基本组成有:水浸式聚焦换能器、信号收发模块、扫描运动模块、数据采集模块与上位机信号与图像处理系统等。
超声检测具有扫描效率高、成像效果好、检测范围广、对人体无害的优点,可用于无损检测样品内部各种缺陷如裂纹、夹层、空洞、异物等。应用领域有复合材料、半导体等样品的高精度检测以及锂电池安全检测等,适用于包括陶瓷、金属、聚晶、塑封IC、MEMS器件、晶圆粘接、倒装芯片、IGBT等的工艺验证、失效分析、产品可靠性测试与质量控制。
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